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“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获国家技术发明一等奖

2024年6月24日,中共中央、国务院在北京隆重举行国家科学技术奖励大会。由清华大学、华海清科股份有限公司(简称“华海清科”,股票代码688120)共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获2023年度国家科学技术奖国家技术发明一等奖,华海清科董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。


集成电路装备是IC产业的重要支撑,是保障集成电路产业安全的基础。CMP装备作为集成电路制造五大关键装备之一,在产业链中不可或缺,其核心技术的自主可控至关重要。该项目面向国家重大战略需求,通过技术创新解决了CMP核心“卡脖子”难题,形成自主技术体系,成功实现整机全面应用与产业化,打破了国际巨头在此领域数十年的垄断,支撑未来高端芯片自主可控发展。


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