近日,中国机械工业科学技术奖励办公室公布了2019年度中国机械工业科学技术奖评审结果。清华大学路新春教授团队的“芯片制造抛光装备与成套工艺”推荐为特等奖(技术发明类)。浙江工业大学彭旭东教授,浙江大学汪久根教授也获得二等奖推荐。摩擦学分会向获奖同仁表示热烈祝贺!
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